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電子廠房?jī)艋照{(diào)工程改造設(shè)計(jì)
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摘要:本文在天津某電子廠房原有的凈化空調(diào)工程基礎(chǔ)上,對(duì)工藝布置和凈化空調(diào)系統(tǒng)提出改造方案,并對(duì)方案設(shè)計(jì)進(jìn)行了簡(jiǎn)單的介紹。
關(guān)鍵詞:凈化空調(diào);改造設(shè)計(jì)
1、原有凈化空調(diào)工程情況
1.1 簡(jiǎn)況
該廠房位于天津市開(kāi)發(fā)區(qū),建于1995年,主要生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片。系統(tǒng)總面積1510m2, 其中空調(diào)面積385m2,凈化面積1125m2,凈化級(jí)別除黃光室為千級(jí)外,其余均為萬(wàn)級(jí)。
1.2 系統(tǒng)存在的主要問(wèn)題
(1)廠房?jī)?nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu),
其余房間均為敞開(kāi)式,凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起,系統(tǒng)較為混亂,難以控制和調(diào)節(jié),凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求;
?。?)非凈化區(qū)域的擴(kuò)散爐,經(jīng)測(cè)定表面溫度可達(dá)50℃,散熱量非常大,在原有設(shè)計(jì)中存在空調(diào)送風(fēng)量不足問(wèn)題,造成擴(kuò)散爐周?chē)鷧^(qū)域的溫度高達(dá)37℃,并且回風(fēng)循環(huán)使用,不利于節(jié)能;
?。?)酸洗槽的排風(fēng)量不足,平均斷面風(fēng)速為0.1m/s,酸性物質(zhì)存留在室內(nèi)環(huán)境中,不能有效地排出,嚴(yán)重影響室內(nèi)的衛(wèi)生和生產(chǎn)環(huán)境;
?。?)在廠房潔凈區(qū)入口處的風(fēng)淋室風(fēng)速為12m/s的要求,需要更換循環(huán)風(fēng)機(jī)。
2、改造方案
針對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行中出現(xiàn)的的以上情況,經(jīng)與甲方協(xié)商,提出了改造方案。
2.1 工藝布置改造方案
2.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)改造方案
3、改造后的使用效果
系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求,在動(dòng)態(tài)下檢測(cè),廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
4、結(jié)論
本工程改造前主要特點(diǎn)表現(xiàn)在系統(tǒng)工藝布置不合理(未對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)時(shí)行明確劃分)、混用凈化及非凈化區(qū)空調(diào)系統(tǒng),不符合“規(guī)范”的要求;酸洗槽排風(fēng)量不足;護(hù)散爐區(qū)因送風(fēng)少及未設(shè)局排設(shè)施導(dǎo)致環(huán)境溫度超標(biāo);改造后將生產(chǎn)工藝布局做了適當(dāng)調(diào)整,按照規(guī)范的要求,對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)單獨(dú)設(shè)置空調(diào)系統(tǒng);加大酸洗槽排風(fēng)量,同時(shí)采用了熱排風(fēng)回收裝置,對(duì)補(bǔ)充新風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱(預(yù)冷),節(jié)約能源,降低運(yùn)行費(fèi)用。建議在今后的空調(diào)工程設(shè)計(jì)中,對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境有要求的工藝,既應(yīng)該按照生產(chǎn)過(guò)程布置工藝,同時(shí)還要考慮到有利于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和控制,保證生產(chǎn)環(huán)境的可靠性。
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