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電子行業(yè)超純水技術
水處理技術:典型工藝流程
預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間→粗混合床→精混合床→純→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密→用水對象 (≥18MΩ.CM)
傳統(tǒng)工藝流程
預處理→反滲透→中間→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密→用水對象(≥18MΩ.CM)
最新工藝流程
1、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密→用水對象(≥17MΩ.CM)
2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水終端(≥15MΩ.CM)
處理后水質(zhì)標準
經(jīng)過高純水除鹽設備后,出水水質(zhì)可以滿足顯像管、液晶顯示器、 集成電路用水標準。 國家電子級純水標準、 美國SEMI標準。
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