潔凈技術(shù)的歷史與發(fā)展

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　　潔凈技術(shù)的誕生

　　潔凈技術(shù)（cleanroom）是適應(yīng)實驗研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。

　　潔凈室（cleanroom）這個名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當(dāng)時的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境。

　　現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個名詞，但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同，現(xiàn)代潔凈室形成一項專門技術(shù)，其歷史不過只有半個世紀(jì)。

　　一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展，都是出于生產(chǎn)的需要，潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰(zhàn)期間，美國生產(chǎn)的飛機導(dǎo)航用氣浮陀羅儀，由于質(zhì)量不穩(wěn)定，每10個陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭期間，美國的16萬臺電子通訊設(shè)備，更換了百萬個以上的電子部件，雷達(dá)出故障的時間占84%，潛水艇聲納出故障的時間占48%.原因都是電子器件、零部件的可靠性差，質(zhì)量不穩(wěn)定。軍方與廠商究其原因，最終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不清潔有關(guān)。盡管當(dāng)時曾不惜工本，采取了種種嚴(yán)密措施來封閉生產(chǎn)車間，但收效甚微。直到50年代初，將美國原子能委員會為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問題，于1951年研制成功的高效空氣過濾器（HEPA-HighEfficiencyParticulateAirFilter）應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾，才真正誕生了具有現(xiàn)代意義的潔凈室。

　　1961年美國桑第阿國家實驗室（SandiaNationalLaboratories）的高級研究人員懷特菲爾特（WillisWhitfield）提出了當(dāng)時稱之為層流（laminarflow），現(xiàn)正名為單向流（unidirectionalflow）的潔凈空氣流組織方案，并應(yīng)用于實際工程。從此潔凈室達(dá)到了前所未有的更高潔凈級別。同年美國空軍制定頒發(fā)了世界上第一個潔凈室標(biāo)準(zhǔn)TO-00-25-203空軍指令“潔凈室與潔凈工作臺的設(shè)計與運轉(zhuǎn)特性標(biāo)準(zhǔn)”。在些基礎(chǔ)上，1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個級別的美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED-STD-209.至此形成了完善的潔凈室技術(shù)的雛形。以上的這三個關(guān)鍵的進(jìn)步，常被譽為現(xiàn)代潔凈室發(fā)展歷史上的三個里程碑。

　　上世紀(jì)六十年代中期，潔凈室在美國如雨后春筍涌現(xiàn)在各種工業(yè)部門。它不僅用于軍事工業(yè)，也在電子、光學(xué)、微型軸承、微型電機、感光膠片、超純化學(xué)試劑等工業(yè)部門得到推廣，對當(dāng)時科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用。

　　七十年代初潔凈室的建設(shè)重點開始轉(zhuǎn)向醫(yī)療、制藥、食品及生化等行業(yè)。除美國而外，其它工業(yè)先進(jìn)國家，日本、德國、英國、法國、瑞士、前蘇聯(lián)、荷蘭等也都十分重視并先后大力發(fā)展了潔凈技術(shù)。